1. <label id="jbnl4"><meter id="jbnl4"><bdo id="jbnl4"></bdo></meter></label>

      服務電話:400-6362-118
      晶圓切割追求刀片與工藝的雙重優化
      發布時間:2022-07-08 點擊數:2156

      在過去40年中,刀片和切割系統不斷改進,以滿足技術挑戰和切割不同類型材料的要求。業界不斷研究刀片和切割工藝參數對切割質量的影響,以便切割能夠滿足不斷變化的晶片材料變化。

      劃片機制(The Dicing Mechanism)

      硅晶圓劃片工藝是“后端”封裝制程工藝中的第一步。該工藝將晶圓分成獨立帶有電氣性能的芯片,用于隨后的芯片粘合(die bonding)、引線焊接(wire bonding)和測試。劃片機空氣靜壓主軸以每分鐘30000~60000rpm的速度(83~175m/sec的線性速度)轉動刀片。該刀片由嵌入電鍍鎳矩陣結合劑中的研磨金剛石制成。

      在晶圓切割過程中,刀片碾碎基礎材料,同時去掉所產生的碎屑,冷卻水(通常是去離子水)用于冷卻刀片并改善切割品質,通過幫助去掉碎屑而延長刀片壽命。

      關鍵工藝參數

      晶圓切割追求生產效率和合格率最大化,同時投入的成本最小。但是,面臨的挑戰是,生產效率增加往往導致合格率降低,反之亦然。隨著進給速度增加,切割品質會下降,同時也影響刀片壽命。

      晶圓切割經常遇到較窄的切割槽,要求設備能將每一次切割都精準放在切割槽中心幾微米范圍內。這不僅需要非常高的設備精度,更需要一款高精度超薄劃片刀。

      可是,越薄的刀片(比如:10m)越脆弱,更容易過早破裂和磨損,導致其壽命和工藝穩定性較之稍厚的刀片差。對于50~76m切割槽的刀片一般推薦刀片厚度應該是20~30m。

      崩邊(Chipping)

      正崩(TSC, top-side chipping),發生在晶圓的表面,當劃片刀接近晶圓的有源區域時,主要依靠主軸轉速、金剛石粒度、金剛石濃度、冷卻水流量和進給速度等因素控制。

      背崩(BSC, back-side chipping),發生在晶圓的背面,當不規則微小裂紋從晶圓的背面擴散開并匯合到一起時,這些微小裂紋足夠長而引起較大顆粒從切口掉出,背崩就會影響到產品合格率。通常,切割硅晶圓的質量判定標準是:如果背面崩缺尺寸在10m以下,忽略不計;當尺寸大于25m時,可以看作是潛在的受損;一般,50m以內的平均大小在可接受范圍內,具體要求可示晶圓的厚度來定。

      可以用來控制崩邊的的方法和技術,主要是優化刀片,以及優化工藝參數。

      刀片優化(Blade Optimization)

      除了尺寸,有三個關鍵元素決定刀片特性:金剛石(磨料)尺寸、金剛石含量和粘結劑的類型。這些元素的結合效果決定刀片的壽命和切割品質(TSC與BSC)。改變任何一個參數都將直接影響刀片性能。

      為一個既定的劃片工藝選擇最佳刀片,要求在刀片壽命與切割品質之間作出平衡。高壽命,品質降低;高品質,壽命降低。劃片刀所用金剛石越細,對工藝參數的變化越敏感。

      其它因素,諸如進給速度和主軸轉速,也可能影響刀片選擇。切割參數對材料去除率有直接影響,它反過來會影響刀片的性能和工藝效率。刀片廠家(例如:深圳西斯特)會對這些規律做深入研究,以應對市場諸多材料精密劃切過程中面臨的多樣需求。

      為了選擇一款合適的刀片,重要的還是要理解刀片外表硬度的影響,刀片外表硬度通常叫做基體硬度。基體硬度通過金剛石尺寸、濃度和粘合物硬度來決定。通常,較細的磨料尺寸、較高的金剛石濃度和較硬的粘合物將得到相對增加的基體硬度。通常建議,與其它因素綜合考慮,較硬的材料需要較軟的(基體)刀片來切,反之亦然。例如,砷化鎵(GaAs)晶圓一般要求較細的金剛砂尺寸(較硬的刀片),而鉭酸鋰(LiTaO3)晶圓最適合用較粗的金剛砂尺寸和較低的金剛石濃度(較軟的刀片)。

      結語

      總而言之,劃片工藝變得越來越精良且要求高。切割跡道變得越來越窄,且跡道內可能充滿測試用的衰耗器(test pad),并且刀片可能還需要切割由不同材料制成的各種涂敷層。在這些條件下達到最大的劃片工藝合格率和生產率,要求有精準選刀能力與先進工藝控制能力。




      国产在线19禁在线观看| 日本久久久久亚洲中字幕| 人妻aⅴ无码一区二区三区| 91国视频在线| 天堂资源在线中文| 中文字幕侵犯一色桃子视频| 日本三级午夜理伦三级三| 亚洲一区电影在线观看| 欧美人与物videos另类xxxxx | 69xxxx日本| 国产美女a做受大片免费| 一区二区三区精品视频| 性欧美videos高清喷水| 亚洲一级视频在线观看| 日韩aⅴ人妻无码一区二区| 亚洲免费观看在线视频| 欧美中文字幕在线看| 亚洲深深色噜噜狠狠爱网站| 波多野结衣作品大全| 免费网站看v片在线a| 男女下面一进一出无遮挡gif| 四虎精品成人免费影视| 老司机67194免费观看| 国产区精品视频| 蜜桃麻豆www久久囤产精品| 国产情侣真实露脸在线| 麻豆久久婷婷综合五月国产| 国产真实伦在线观看| 1区2区3区产品乱码免费| 国产网站在线免费观看| 67194在线午夜亚洲| 国产大片线上免费看| 野花日本免费观看高清电影8| 国产成人免费网站在线观看| 青青草国产在线观看| 国产思思99re99在线观看| 美女张开腿让男人桶的视频| 四虎永久成人免费| 特级毛片aaaaaa蜜桃| 人人澡人人澡人人看添av| 狠狠97人人婷婷五月|