西斯特微孔陶瓷吸盤，是利用真空吸附原理固定工件的承載平臺，經(jīng)過特殊的納米粉體工藝制作而成，通過高溫燒結(jié)在材料內(nèi)部彼此連接或閉合。公司生產(chǎn)的微孔陶瓷吸盤可以和國內(nèi)外主流設備配套使用，具有優(yōu)越的性能。

主要特點：

1、孔徑分布均勻，組織致密均勻，顆粒粗細均勻。

2、透氣性好，吸附力均勻。

3、表面光滑平整。

4、多種孔徑規(guī)格可選，方形\圓形可選。

5、可加工2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸半導體片。

6、可配套減薄機、劃片機、清洗機等設備。

產(chǎn)品規(guī)格：

1、底座及邊框可選材質(zhì)：鋁合金、不銹鋼、陶瓷

2、尺寸范圍：φ/5-500mm

3、微孔尺寸：1-700μm

4、氣孔率：30-40%

5、透氣均勻性：10×10mm

6、區(qū)域內(nèi)壓差：±3Kpa