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      選刀還需關(guān)注加工條件
      發(fā)布時間:2022-08-16 點(diǎn)擊數(shù):2335

      在晶圓劃切過程中,不僅需要選擇合適的劃片刀,而且要關(guān)注加工條件的優(yōu)化。合適的劃片刀和良好的加工條件,對于獲得好的切割效果起著至關(guān)重要的作用。


      上期我們已經(jīng)分析劃片刀選型的幾個關(guān)鍵因素,本期關(guān)注加工條件的影響。


      加工條件主要涉及以下幾個方面:


      • 主軸轉(zhuǎn)速

      • 進(jìn)給速度

      • 冷卻水


      主軸轉(zhuǎn)速

      刀片固定在劃片機(jī)主軸上,以非常高的速度旋轉(zhuǎn),通常在每分鐘25000至60000轉(zhuǎn)之間,這就是我們通常所說的主軸轉(zhuǎn)速。主軸轉(zhuǎn)速是影響切割效果的關(guān)鍵因素之一。


      在相同轉(zhuǎn)速下,刀片外徑不同,外圓線速度也不同。不同外徑的刀片為了獲得相同的外圓線速度,必須調(diào)整主軸轉(zhuǎn)速,以保證切割質(zhì)量及穩(wěn)定性。


      當(dāng)主軸轉(zhuǎn)速增加時,金剛石的加工負(fù)荷減少,從而提高刀片壽命,同時降低了被切產(chǎn)品正面崩邊產(chǎn)生的風(fēng)險(xiǎn)。但是,金剛石加工負(fù)荷減少會阻礙刀片自銳,導(dǎo)致被切產(chǎn)品背面崩邊發(fā)生率的增加。


      降低主軸轉(zhuǎn)速,加速刀片自銳,是減少被切產(chǎn)品背面崩邊發(fā)生率的有效措施之一。


      相同切割條件下,主軸轉(zhuǎn)速越高,被切產(chǎn)品正面崩邊尺寸越小,背面崩邊尺寸則越大,刀片蛇形切割的發(fā)生概率也越高。 


      為了使被切產(chǎn)品保持良好的切割質(zhì)量,并達(dá)到預(yù)期的使用壽命,有必要根據(jù)被切產(chǎn)品的材料情況、刀片規(guī)格和加工質(zhì)量要求對主軸轉(zhuǎn)速進(jìn)行合理選擇。


      進(jìn)給速度

      在切割過程中,我們移動臺盤來實(shí)現(xiàn)切割速度的變化(1-300mm/s)。大家都知道工廠生產(chǎn)中,效率意味著成本。切割速度越高,效率越高。但是往往切割速度越高,刀片負(fù)載越高,切割品質(zhì)會越差。因此優(yōu)化切割速度實(shí)現(xiàn)高效率高品質(zhì)的生產(chǎn)至關(guān)重要。


      高進(jìn)給速度下,每顆金剛石的負(fù)載也會增加,對崩邊產(chǎn)生較大影響,同時,進(jìn)給速度會影響刀片壽命。


      進(jìn)給速度越慢,背崩尺寸越小,刀片壽命越長。相反,進(jìn)給速度越快,背崩尺寸越大,刀片磨損加大,刀片壽命也就越短。


      冷卻水

      由于在劃切中主軸高速旋轉(zhuǎn),在切割材料時,刀片與材料的接觸處會產(chǎn)生很高的溫度,穩(wěn)定的劃切冷卻水流量,不僅在劃切過程中可以起到冷卻刀片的作用,還可以防止電擊、電弧現(xiàn)象發(fā)生,同時沖掉劃切過程中碾碎的碎粒,減少芯片表面的碎屑污染,提高劃切品質(zhì)。


      劃切冷卻水,主要采用去離子水,可根據(jù)產(chǎn)品需要增加特殊附件,例如二氧化碳?xì)怏w,以改變水質(zhì)電阻值等。 


      冷卻水的流量和溫度達(dá)到穩(wěn)定時,劃切品質(zhì)才能達(dá)能最佳。冷卻水流量的調(diào)節(jié),包括噴嘴方向、高低、流量大小的調(diào)節(jié)。只有保證了足夠的冷卻效果,才能有效控制劃切崩裂。


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