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      窄跡晶圓切割實例
      發布時間:2022-09-13 點擊數:2519

      窄跡晶圓的特性

      在晶圓切割環節中,經常遇到的較窄跡道(street)晶圓,要求將每一次切割放在跡道中心幾微米范圍內。雖然目前有激光切割、等離子切割等方式,理論上可以實現窄跡晶圓的切割,但是考慮到技術成熟度不高、適用產品范圍小、設備價格高等方面因素,應用金剛石劃片刀仍是最優的選擇。這就要求切割設備具備更高的精度和更先進的對準運算,以及厚度盡可能薄、剛性更強的刀片。


      當切割窄跡道晶圓時,常見的一種推薦是,選擇盡可能最薄的刀片。但是,很薄的刀片是非常脆弱的,更容易過早破裂和磨損,結果,其壽命期望和工藝穩定性都比較厚的刀片差。這對刀片品質以及合適的切割方案有較高的要求。


      一般對于50~76μm跡道的晶圓推薦厚度為20~30μm的刀片,40~50μm跡道的晶圓推薦厚度為15~20μm的刀片。


      案例實錄

      ?

      測試目的

      1、測試切痕寬度

      2、測試切割品質



      ?

      材料情況

      切割產品

      mos晶圓

      產品尺寸

      8寸

      產品厚度

      200μm

      膠膜類型

      UV膜


      ?

      工藝參數

      切割工藝

      單刀切透

      設備型號

      DAD322

      主軸轉速

      26K rpm

      進刀速度

      30mm/s

      刀片高度

      CH1:0.055


      ?

      樣刀準備


      SSTYE SD-4000-R-50-CBA


      ?

      樣刀規格


      刀片型號

      4000-R-50 CBA

      金剛石粒度

      4000#

      結合劑硬度

      R(硬)

      集中度

      50

      刀片厚度

      0.018mm


      ?

      測試結果

      1、切痕寬度在21~22.3μm之間,切痕

      穩定,符合工藝要求。

      2、正面無明顯崩邊。

              崩邊效果                                                刀痕效果


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